1.于ulpa上游侧，高频电刀，测定一次侧之外气或回风浓度，
（1）空气洁净度100 级的洁净室（区）应对大于等于5μm 尘粒的计数多次采样，当大于等于5μm 尘粒多次出现时，可认为该测试数值是---的。
（2）洁净室（区）应根据生产要求提供照度，并应符合下列规定：
（3）辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜低于150lx。
（4）非单向流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于60db（a），单向流和混合流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于65db（a）。
应监测开关门后压差恢复的情况，---压差恢复后才能打开另一道门。有---测试和记录这些（开关门）常规压差变化，以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估：
1.关闭所有的门和传递窗，定义所有设备的运行状态，观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差，注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动；
2.每个缓冲间、传递窗或转移舱，打开所有的门，一次打开一边的门，注意房间或区间压力波动。关门，高频电刀标准，确认压差回到其原始值；
3.泄漏通道，例如门周边泄漏，高频电刀，应进行评估，作为洁净间设计的一部分，以---为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。
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