亦即玷污控制(contaminationcontrol)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中,x射线机检测设备,对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置、等、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。
尽管对净化车间内的洁净度的测量,x射线机检测,可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜,但目前用得的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量,x射线机检测标准,并且可以直接显示瞬时的含尘浓度,也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量,使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型:一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于5pa。
(2)洁净室(区)与室外的静压差,不应小于 10pa。
(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
(4)若达不到以上标准的要求,应重新调整新风量、排风量、至合格为止。
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