洁净检测-洁净检测-慧宇昊检测中心

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    2023-3-15

陈伟涛
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洁净室检测-采样量

不同洁净度级别的洁净室,其采样量是不同的,洁净检测报告,采样量涉及到粒子计数器的采样量和采样时间,关键是粒子计数器的采样速率。现行的<施工验收规范>;中规定,洁净检测,粒子计数器应使用采样流率大于1l/min,小的采样流率的粒子计数器用于单向流洁净室(5级以上),其测量的结果误差较大,即使采用延长采样时间提高采样量也消除不了测量误差。因此,对于单向流洁净室的洁净度测定,应采用采样流率为2.83l/min的粒子计数器比较适宜。不同级别的洁净室每次采样的小采样量应符合下表所列的数量。



洁净室检测技术

亦即玷污控制(contaminationcontrol)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置、等、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染(范畴谓之)。人是污染源的发源地:人体每分钟散发10万个粒子(粒径***0.5μm)。每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源,经测试,洁净检测报价,作业人员占80%。



洁净室检测测定

可分为空态、静态和动态。空态是指洁净室已竣工,洁净检测,空调系统已处于正常运行状态,试验调整工作结束并符合要求,室内无生产设备和工作人员状态下进行的测定。静态是指空调系统已处于正常运行状态,试验调整工作结束并符合要求,室内生产设备已安装,无工作人员状态下进行的测定。动态是指洁净室已处于正常生产状态下进行的测定。

对于新建的洁净室竣工验收,应进行空态或静态测定。而综合性能的评价是指在动态条件下测定,是由建设单位负责,设计、施工单位配合。



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