洁净室检测设备-洁净室检测-北京慧宇昊

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    2023-2-26

陈伟涛
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洁净室检测技术

亦即玷污控制(contaminationcontrol)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置、等、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染(范畴谓之)。人是污染源的发源地:人体每分钟散发10万个粒子(粒径***0.5μm)。每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源,洁净室检测,经测试,作业人员占80%。



洁净室检测测定

可分为空态、静态和动态。空态是指洁净室已竣工,空调系统已处于正常运行状态,试验调整工作结束并符合要求,室内无生产设备和工作人员状态下进行的测定。静态是指空调系统已处于正常运行状态,试验调整工作结束并符合要求,室内生产设备已安装,无工作人员状态下进行的测定。动态是指洁净室已处于正常生产状态下进行的测定。

对于新建的洁净室竣工验收,应进行空态或静态测定。而综合性能的评价是指在动态条件下测定,是由建设单位负责,设计、施工单位配合。



洁净室检测悬浮粒子

a、室内测试人员必须穿洁净服,洁净室检测报告,不得超过2人,应位于测试点下风侧并远离测试点,洁净室检测设备,并应保持静止。进行换点操作时动作要轻,应减少人员对室内洁净度的干扰。

b、设备要在校准期内使用。

c、检测前和检测后设备“清零”

d、在单向流区域,所选择的采样探头应接近等动力采样,进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点,洁净室检测标准,将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点,采样口应竖直向上。

e、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。

采样点一般离地面0.8-1.2m左右,要均匀科学布点,而且要避开回风口。对任何小洁净室或局部空气净化区域,采样点的数目都不得少于2个,总采样数可根据面积开2次根求得。




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