发布单位：慧宇昊（北京）检验检测中心有限公司 发布时间：2022-8-24
（1）空气洁净度100 级的洁净室（区）应对大于等于5μm 尘粒的计数多次采样，当大于等于5μm 尘粒多次出现时，可认为该测试数值是---的。
（2）洁净室（区）应根据生产要求提供照度，并应符合下列规定：
（3）辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜低于150lx。
（4）非单向流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于60db（a），单向流和混合流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于65db（a）。
洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口，以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势，与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后，侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险，使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离，也是---措施之一。
应监测开关门后压差恢复的情况，---压差恢复后才能打开另一道门。有---测试和记录这些（开关门）常规压差变化，以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估：
1.关闭所有的门和传递窗，定义所有设备的运行状态，观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差，注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动；
2.每个缓冲间、传递窗或转移舱，打开所有的门，一次打开一边的门，注意房间或区间压力波动。关门，确认压差回到其原始值；
3.泄漏通道，例如门周边泄漏，应进行评估，作为洁净间设计的一部分，以---为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。
