发布单位：慧宇昊（北京）检验检测中心有限公司 发布时间：2022-7-15
⑴空气中悬浮微粒（非生物性及生物性）
⑵空气中悬浮分子玷污物
⑶---
⑷微振
⑸静电
⑹生产工艺介质：高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。
洁净技术内容涉及：
⑴洁净室检测技术（工业洁净室、一般生活洁净室及隔离式生物洁净室）：包括空气净化、建筑装饰、玷污物发散源的控制以及消除静电和防微振。
⑵高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品的制取、输送及纯化。
⑶有关玷污物的检测及监测。
（1）应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。
（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。
（4）所测量记录的数据应到 1.0pa。
（1）先关闭所有的门。
（3）记录所有数据。
（1）不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于5pa。
（3）对于空气洁净度等级严于 5 级（100 级）的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口，以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势，与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后，侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险，使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离，也是---措施之一。
