




洁净室检测测试规则
1.温度湿度,要求与生产及工艺相适应(温度18~26℃,相对湿度45~65%为宜)
2.压差洁净度级别不同的洁净室(区)之间压差>;5pa,洁净区与非洁净区之间压差***10pa。
3.静态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态,生产设备已安装,室内没有生产人员的测试。
4.动态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态,生产设备及生产人员等已处于正常生产状态下的测试。
5.静态测试时,室内人员应不超过2人。测试记录和报告中应标明所测试的状态。
6.测试状态:静态测试和动态测试
洁净室各类检测
1.温湿度检验:使用温湿度计测试时,距地板高度约1.2m,用温湿度计于测试,约每9m2测定一点,每点之测定时间约5秒;如使用温湿度记录器测试时﹐需于选定之测试点做24小时之连续测试。
2.噪音检验:距地板约1.2m,用噪音计于测测试,测数以每9m为一点,每点测定时间5秒。
3.不管气流为层流.乱流或混合式流,于工程完成后之状(asbuilt)各项目大部分均须列入检验,但在作业状态则有所选择。
洁净室压差检测
1.u 型气压计由于形状像英文大写字母 u 字而得名。实际上 u 型气压计是两个有刻度的连通的玻璃管。加入液体后,一头与---连通,另一头与被测的气体连通。利用两个玻璃管中的液面差测量气压差。结合已知的---压数值,就可以得到被测的气压值。
2.斜管微压计可以理解为 u 型压力计的变形。一般情况,u 型压力计的玻璃管垂直读数,斜管微压计的玻璃管倾斜读数。玻璃管倾斜后,同样的压差在玻璃管中显示的距离较大,读数的度较高。所以与 u 型压力计比较,斜管微压计的读数度要高一些。斜管压力计的工作原理图如图 2-37 所示,斜管压力计通常由一个可变化倾角且带有刻度的玻璃细管和底部与其相通的容器构成。容器顶部中央和斜管的另一端分别设有接入口。斜管压差计由于其斜管倾斜角度 a 的的可调性,它在 a 角较小时,微小压差在斜管上就对应较长的 l 值。压差的微小变化,都能从 l 值的变化灵敏的辨认,因此常用于测微压差。
3.电子微压计一般是通过压力传感器、电子线路和显示器直接用数字显示压力的数值,如图 2-39。以膜片位移所产生的静电电容或电阻的变化,测定一个空间与其周围环境间的压差值,并显示或输出该值。常见的电子微压计与上述膜片式压力计相同之处在于,它同样是依据膜片在两侧不同压力作用下所形成的位移量来反映膜片两侧的压力差;不同之处在于它不是依据机械方式,而是依靠测定膜片位移而产生的静电电容或电阻的变化量来反映所测压差的大小。